等離子清洗機種類也有很多，通常多可分為大氣等離子清洗機和真空等離子清洗機，區別在于工作時所處的氣壓環境狀態，前者為常壓放電，后者是在低壓真空的環境下產生輝光放電，無論是哪一種，其等離子體產生的過程卻是基本相同的。
物質從能量較低的聚合態轉為能量較高的聚集態需要外界提供足夠的能量，形式有加溫、電場、輻射等，等離子清洗機所產生的等離子體便是一種能量較高的物質聚集態，通過對氣體施加電場能量電離為原子、離子、電子等，等離子體中，由于所帶的正負電荷數幾乎相等，所以在宏觀層面上能夠將其看做是電中性的。理論解釋比較晦澀，我們可以通過水為例來了解一下。
當溫度在0℃以下時，水就會呈現固體形態冰；通過加熱，當在0℃到100℃之間，就會由固體形態冰化為液體形態的水；而當溫度繼續上升到100℃以上，液體形態的水就會變成氣態的水蒸氣。而溫度到上萬度之后轉化為包括原子、離子、電子在內多種粒子的等離子體。
在等離子體具體的產生過程中，大氣等離子清洗機是把無水無油的壓縮空氣即CDA，通過噴槍電極電離而形成等離子體。
而真空等離子清洗機是先將反應腔體抽成真空狀態，然后通入反應氣體，維持腔體內一定的真空度，再將電通電，形成高頻高壓電場，電離形成等離子體。
